半导体

光刻波长从193 nm到13.5 nm剧烈变化,使得EUV光刻工艺需要全新的元器件和材料,这意味着需要在工作波长(即13.5 nm)下重新开展元器件检测和材料相互作用研究。

本站热榜

日排行
周排行
月排行
热点资讯